プラズマ処理によるリチウム遷移金属酸化物薄膜の結晶化方法

Abstract

【要約】 【課題】 本発明は薄膜形態のリチウム2次電池の電極用リチウム遷移金属酸化物薄膜の結晶化方法に関する。 【解決手段】 本発明によればマイクロ波または高周波により誘起された酸素または不活性気体プラズマにリチウム遷移金属酸化物薄膜を反応させることによって結晶性が向上したリチウム遷移金属酸化物薄膜を提供できる。本発明のプラズマ処理法を使用すれば400℃以下の低温で20分以内の時間に短縮できて既存の炉熱処理方法により酸化物薄膜を結晶化させるために750℃以上の高温で数時間ないし数十時間が必要であった問題点を解決できるのみだけでなく従来ガラス基板またはアルミニウムなどの融点が低い物質を基板に使用できなかった問題点も併せて解決できる。