튜닝포크형자이로스코프

Abstract

본 발명은 튜닝 포크형 자이로스코프에 관한 것이다. 제 1 축 및, 상기 제 1 축에 대하여 직교하는 제 2 축으로 이루어지는 평면으로부터 수직인 제 3 축 방향으로 이격되어 배치되는 진동 구조물(212), 상기 진동 구조물(212)을 정전기력에 의해 제 2축 방향으로 진동시키는 구동 수단(213, 221), 상기 제 1 축을 중심으로 하는 회전이 발생할때 상기 진등 구조물(212)이 제 3 축의 방향으로 변위되는 것을 감지할 수 있도록 제 1 축 및 제 2축으로 이루어지는 평면에 배치된 센서 전극 수단(214,214') 및, 상기 진동 구조물(212)의 제 3 축 방향 변위를 보상할 수 있는 힘 평형용 토크 전극 수단을 구비한 튜닝 포크형 자이로스코프에 있어서, 상기 힘 평형용 토크 전극 수단은 제 3 축 방향에서 상기 진동 구조물(21)에 대하여 상부에 배치된 힘 평형용 상부 토크 전극 수단(241, 241') 및, 하부에 배치된 힘 평형용 하부 토크 전극 수단(242,242')을 구비한 것을 특징으로 하는 튜닝 포크형 자이로스코프가 제공된다. 본 발명의 자이로스코프에서는 진동 구조물의 비틀림이 효과적으로 방지되면서 각속도의 측정이 가능해진다.