일괄정렬방식 평면결상형 극자외선 분광기와 그 정렬장치

Abstract

본 발명은 분광영역 30-300Å에 이용되는 평면결상형 극자외선 분광기와 그의 정렬을 위한 정렬장치에 관한 것이다. 분광기의 구성요소인 토로이드거울과 실틈, 에돌이발을 하나의 정렬판에 설치하여 각 구성요소의 정렬을 일괄적으로 쉽게 할 수 있도록 하였으며, 에돌이발의 각도와 극자외선 필름의 위치를 별도로 정렬하는 방법과, 토로이드거울을 제작하고 토로이드거울의 수평반경을 정렬하기 위한 토로이드거울 구부림 및 수평반경 정렬장치가 포함된다. 본 발명에 따른 분광기 정렬장치는 본 발명 분광기의 각 구성요소의 각도와 위치를 정렬하고, 분광특성에 가장 큰 영향을 미치는 에돌이발의 입사각도와 극자외선 필름의 위치를 독립적으로 정렬할 수 있게 하므로 본 발명 분광기의 특성을 극대화시키는 효과가 있다.