모아레 원리의 2π 모호성과 위상천이 수단이 없도록실시되는 3차원 형상 측정장치 및 그 방법

Abstract

본 발명은 모아레 원리의 2π 모호성이 없도록 실시되는 3차원 형상 측정장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 패턴 주기를 자유롭게 조절하는 패턴 주사기(10)로 측정 대상물(50)에 주기적으로 빛을 주사하고서, 제1 카메라(20)가 검출하는 하나의 프린지 영상에서의 임의의 지점(R1)의 프린지 무늬와 동일한 프린지 무늬를 참조면(60)상에서 검출하여, 2π 모호성을 갖는 후보점들로 인식하는 제1 단계(S1)와; 2π 모호성을 갖는 후보점들 중에서 제1 카메라(20)의 좌측에 위치하는 제2 카메라(30)로 임의의 지점(R1)의 프린지 무늬와 동일한 대응점이 있는지를 판단하는 제2 단계(S2); 및 동일하다고 판단된 대응점의 결과값을 이용하여 모아레 원리에 따라 측정 대상물(50)의 3차원 형상을 측정하는 제3 단계(S3)에 의해 실시되는 것을 특징으로 한다. 이로 인해, 본 발명의 3차원 형상 측정장치 및 그 방법은 모아레 원리를 이용하면서도 2π 모호성의 오류를 제거하기 때문에, 3차원 형상 정보를 보다 빠르고 정확하게 측정할 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명은 패턴 주사기에서 패턴 영상을 조절하기 때문에, 종래기술과 다르게 측정 대상물을 위상천이시킬 하드웨어 수단이 필요없는 장점이 있다.