미소 구동기 제조방법Micro-actuator fabrication method
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이춘섭 | ko |
| dc.contributor.author | 이재덕 | ko |
| dc.contributor.author | 황치호 | ko |
| dc.contributor.author | 한철희 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-12-09T09:03:21Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-09T09:03:21Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/302428 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명에 따른 빗 형상의 미소 구동기 제조방법에 있어서, 기판을 마련하는 단계와; 상기 기판 상에 복수 개의 핑거를 갖는 상기 제 1전극을 형성하는 단계와; 상기 식각으로 노출된 상기 제 1전극의 측면에 측면 산화막을 형성하는 단계와; 상기 제 1산화막이 노출된 영역 상에 상기 제 1전극의 핑거들 각각과 서로 대응하는 상기 제 2전극의 핑거들 각각이 맞물리는 형상으로 패턴을 형성하고, 상기 제 2전극의 패턴에 따라 상기 제 4산화막 및 상기 제 2실리콘막을 식각하여 상기 제 1산화막이 노출되도록 상기 제 2전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1산화막, 상기 제 2산화막, 상기 측면 산화막, 상기 제 4산화막 및 상기 질화막을 제거하여 미소 구동기를 완성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 산화막 및 질화막을 증착하여 화학적 또는 기계적 식각만으로 빗 형상의 전극들이 미세 간격 갖게 되어 더욱 큰 정전기력을 발생함으로써, 낮은 동작 전압으로도 구동 가능한 효과가 있다.미소기전집접시스템, 빗 형상, 미소 구동기, 핑거, 정전기력, 열산화 | - |
| dc.title | 미소 구동기 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | Micro-actuator fabrication method | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 한철희 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황치호 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2002-0016681 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0465914-0000 | - |
| dc.date.application | 2002-03-27 | - |
| dc.date.registration | 2005-01-03 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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