광학 스위치 및 그 제조 방법

Abstract

정전기력을 이용한 광학 스위치 및 광학 스위치의 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명의 광학 스위치는, 기판과; 일면에 반사면을 가지는 상부 전극판과; 기 기판과 상부 전극판의 다른 일면의 중심을 연결하는 탄성 지지체와; 기판 상에 탄성 지 지체를 중심으로 하여 방사 대칭으로 배열되며, 상부 전극판의 다른 일면과 대향하도록 형성된 복수 개의 하부 전극판을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 광학 스위치에 의하면, 선택적으로 어느 하나 또는 복수 개의 하부 전극판에 전류를 인가함으로써, 빛의 반사 방향과 빛의 양을 적절하게 조절할 수 있으므로 미세한 빛을 제어하는 미소기전집적시스템 산업에 효율성을 증대한다.광학스위치, 탄성지지체, 미소기전집적시스템, 전극판, 방사구조