지컷리튬니오베이트차단형광변조기의구조

Abstract

본 발명은 고전압측정용 집적광학센서에 이용가능한 지컷 리튬니오베이트(Z-cut LiNbO3) 차단형 광변조기(cutoff modulator)의 구조에 관한 것이다.본 발명에 의한 광변조기는 지컷 리튬니오베이트 기판, 기판상에 길이방향으로 형성시킨 도파로, 도파로위에 형성시킨 SiO2 버퍼층, 상기 버퍼층의 중앙 상부에 형성시킨 크롬전극, 상기 기판상에 버퍼층에 대응하는 길이로 상기 크롬전극과 일정 간격지게 형성시킨 접지 전극판으로 구성된다.이와 같은 본 발명의 지컷 리튬니오베이트 차단형 광변조기 구조에 의하면, 전극간의 간격을 인가전압에 따라 마음대로 넓혀서 측정 전압범위를 증가시킬 수 있게 되고, 어닐링 공정을 이용하여 변조기의 동작점을 광학적으로 이동시킬 수 있게 되며, 또한 한 리튬니오베이트 기판위에 측정전압범위가 서로다른 여러개의 광전압센서를 동시에 제작할 수 있게 된다.