플라즈마의전자온도측정기

Abstract

본 발명은 우주 공간을 이루는 플라즈마의 전자 온도를 측정하기 위한 전자온도 측정기에 관한 것으로서, 플라즈마 이온층의 전자온도를 세밀하고 정확하게 측정하는 고분해능의 전자온도 측정기를 제공하는 데 그 목적이 있다.이러한 본 발명은, 부동(floating)상태의 탐침으로부터 측정되는 부동전위와, 일정 진폭의 사인파가 인가되는 탐침으로부터 측정되는 이동전위를 이용하여 플라즈마의 전자온도를 계산하기 위한 전자온도 측정기에 있어서, 부동상태에 놓인 부동 탐침과, 서로 다른 크기의 진폭을 가지는 사인파가 각각 인가되는 적어도 2개 이상의 이동 탐침, 상기 부동 탐침으로부터 부동전위를 측정하는 부동전위 측정부, 상기 각각의 이동 탐침으로부터 각각의 이동전위를 측정하는 적어도 2개 이상의 이동전위 측정부, 및 상기 부동전위 측정부와 각각의 이동전위 측정부에서 측정된 부동전위와 각각의 이동전위를 이용하여 전자온도를 측정하는 제어부를 포함한 것을 특징으로 하는 플라즈마의 전자온도 측정기를 제공한다.