고주파 유전체용 자기조성물 및 그의 제조방법

Abstract

본 발명은 주성분으로 산화지르코늄(ZrO2), 산화주석(SnO2) 및 산화티타늄(TiO2)을 (ZrO2)1-x(SnO2)x(TiO2)1+Y(X는 0.1몰 X 0.4몰이고, Y는 0몰 Y 0.1몰이다)의 몰비로 혼합하여 1900℃ 이상에서 용융 분쇄하고, 부성분으로 질산망간(Mn(NO3)2 4H2O)을 산화망간(MnO)의 무게비(wt％)로 1 중량％ 이하 첨가하여 제조된 고주파 유전체용 자기조성물 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은 비산화물 형태의 질산망간(Mn(NO3)2 4H2O)을 부성분으로 이용하므로, 정확한 공정제어를 가능케 하여 균일한 고주파 유전체용 자기조성물을 제공케 하고, 이렇게 제조된 고주파 유전체용 자기조성물은 유전율(k)이 40이상이며, 품질계수(Q) 값이 7000 이상이고, 공진주파수의 온도의존계수(τf)가 10 이하의 매우 낮은 수치를 나타내었다. 따라서, 본 발명의 고주파 유전체용 자기조성물은 고주파에서 뿐만 아니라 마이크로웨이브에서의 집적회로 또는 유전체 공진기용으로 사용될 수 있다.