다이오드 스위칭을 이용한 ＳＡ－ＦＰＡ 센서의 시스템 인 패키징 방법

Abstract

본 발명은 다이오드 스위칭을 이용한 적외선 센서 및 이의 패키징 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 다이오드와 볼로미터가 어레이로 배열되며 이 다이오드와 볼로미터가 직렬로 연결되는 적외선 센서에 대한 것이다.또한, 본 발명은 이 적외선 센서로부터 신호를 읽기 위한 출력제어 집적회로(ROIC: Read Out Integrated Circuit)와 적외선 센서를 동일한 실리콘 기판 상에서 패키징하는 패키지 방법에 대한 것이다. 본 발명에 따르면, 적외선 센서를 볼로미터와 다이오드로 구성하여 칩으로 패키징함으로써 본딩 패드(PAD)가 감소하므로 소형화가 가능하다. 또한, 본 발명의 다른 효과로서는 적외선 센서 칩과 출력 제어 집적회로(ROIC) 칩을 별개로 구성하여 동일한 웨이퍼 레벨에서 접착시키므로 출력 제어 집적회로의 불량에 대한 사전 검사가 가능하다는 점을 들 수 있다.