간섭계형 레이저 센서

Abstract

본 발명은 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성되는 광원과 외부 물리량의 감지 수단으로서의 기능을 동시에 수행하는 레이저 공진기 ; 상기 2개 이상의 반사체로부터 출력되는 레이저광을 간섭시키기 위한 간섭수단 ; 및 간섭수단으로부터 출력된 간섭신호를 검출 및 처리하는 신호처리부를 포함하는 간섭계형 레이저 센서에 관한 것이다. 본 발명에 의한 센서 시스템은 편광오차가 발생하지 않아, 고가의 편광유지 광섬유 및 편광기를 필요로 하지 않으며, 좁은 선폭의 레이저를 사용함으로써, 파장 의존적인 오차를 크게 줄일 수 있고, 레이저 공진기가 광원과 외부 물리량의 감지소자 역할을 동시에 수행하기 때문에, 외부 광원을 필요로 하지 않으며, 고리형 레이저에서 나타나는 서로 다른 방향으로 진행하는 빛 사이의 이득다툼으로 인한 출력 불안정이 없고, 작은 회전량을 측정하지 못하는 현상(lock-in 효과)이 존재하지 않는다.