현미경의자동초점조절장치

Abstract

본 발명은 현미경의 자동 초점조절 장치 및 방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로 본 발명은 광원, 대물렌즈, 광원에서 나온 광을 분할하여 대물렌즈의 광축에 경사지게 입사시키기 위한 광분할기, 물체 위에 형성된 광점이 대물렌즈에 의하여 상점으로 맺히게 되는 수광소자, 수광소자에 나타나는 상점의 위치 변화에 따라 발생하는 전기신호를 처리하기 위한 신호처리 수단을 포함하는 현미경의 자동 초점조절 장치 및 이를 이용한 자동 초점조절 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 현미경의 자동 초점조절 장치 및 방법은 기존에 사용되는 현미경 장비에 손쉽게 적용이 가능하고, 실시간(real-time)으로 초점조절이 가능하며, 초점조절 성능을 종래의 현미경 장비가 가지고 있는 초점 심도(depth of focus)와 관계 없이 향상시킬 수 있으며, 또한 물체의 반사율이나 자동 초점조절 장치의 출력 변화와 기울기 및 표면 조도에 의한 영향을 최소화시킬 수 있다.