가청 주파 대역 필터

Abstract

본 발명은 마이크로머시닝(micomachining) 기술로 제작된 열전기 구조 (electrothermal)를 이용하여 구현된 가청주파 대역 필터에 관한 것이다. 열전기 구조란 전기적인 구성요소 (electrical component)들 사이에 열적인 상호작용이 발생하는 구조로서 일반적으로 열적인 응답이 전기적인 응답속도 보다 느리기 때문에 마이크로머시닝 기술로 제작된 열전기 구조와 회로를 적절히 집적하면 가청주파수 대역의 필터를 구현할 수 있다. 열전기 구조를 이용하여 Gm-C 적분기를 구성하고 이를 기본 구조로 하여 일반적인 회로에서 Gm-C 적분기를 이용하여 필터를 구성하는 것과 같은 방법으로 다양한 필터를 구현할 수 있다. 열전기구조, 마이크로머시닝, 필터, 대역, 통과, 가청, 주파수