백색광 분광 특성을 이용한 위상 물체의 3차원 굴절률 분포 측정 장치 및 그 방법

Abstract

본 발명은 위상 물체의 3차원 굴절률 분포를 측정할 수 있는 장치 및 그 측정방법에 대한 것으로, 보다 상세하게는 백색광과 회절격자, 분광결상소자를 사용하는 방법으로 위상물체의 3차원 굴절률을 정밀하게 측정하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정장치는 입사광(24a)과 기준광(24b)을 방출하는 광원부(2)와; 광원부(2)에서 방출된 입사광(24a)을 여러 차수의 빛으로 회절시키는 제1 회절격자부(3)와; 제1 회절격자부(3)를 통과한 회절된 빛에 대한 위상지연을 발생시키는 시편부(4)와; 시편부(4)로부터 발생하여 분산되어 있던 각 파장별 빛을 집속시키는 제2 회절격자부(5)와; 제2 회절격자부(5)로부터 집속된 집속광(53)과 상기 기준광(24b)을 합치시켜 백색광을 다시 생성하여 특정파장의 측정광(63)을 출사시키는 분광부(6)와; 측정광(63) 중에서 특정 파장에 대한 간섭신호를 검출하는 검출부(7)와; 검출부(7)에서 검출된 간섭신호를 데이터로 저장하고, 제1 회절격자부(3), 시편부(4) 및 분광부(6)를 제어하는 신호처리 및 제어부(8);로 구성되어 있다.위상 물체, 백색광, 굴절률