6축초정밀위치결정기구

Abstract

본 발명은 삼각형 모양의 대칭적 구조를 갖는 공기베어링 타입의 수직선형모터와 수평선형모터로 수직방향의 움직임과 수평방향의 움직임을 완전히 독립시킴과 동시에 상대적으로 큰 작동범위를 갖는 6축 초정밀 위치결정기구에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 서브마이크론 이하의 정밀위치제어를 필요로 하는 구동장치(10,20,30,40)의 베이스판(1,21,31,41)을 기준으로 이동테이블(5,25,43)을 다수의 자유도로 제어하기 위한 수평작동수단(6,7,8,24,42,42a,44b)과 수직작동수단(2,3,4,44a,44c) 및 공기베어링(26,32,32',45)을 포함하는 6축 초정밀 위치결정기구에 있어서, 상기 베이스판(50)에 고정된 요크부(61)의 슬릿(62a,62b)에 고리모양으로 수직하게 결합되는 코일부(68)와 어댑터(69)를 구비하여 상기 이동테이블(51)의 하면에 결합된 수평선형모터(60)들과; 상기 수평선형모터(60)에 결합된 상기 이동테이블(51)을 상기 베이스판(50)에서 비접촉식으로 지지하는 공기패드(74)와 전자석코일(77) 및 센서홀더(75)를 구비한 공기베어링부(71)가 형성된 수직선형모터(70)들과; 상기 수평 및 수직선형모터(60,70)들을 제어하는 제어부(도시안됨)를 포함하며, 상기 수직선형모터(60)들과 상기 수직선형모터(70)들은 120°내각을 갖는 두개의 삼각형상으로 상기 이동테이블(51)의 하면에 대칭되게 배치되며, 상기 수평선형모터(60)들의 길이에 비례한 큰 작동범위를 갖는 것을 특징으로 하는 6축 초정밀 위치결정기구가 제공된다.