미세렌즈배열및그의형성방법DISPOSITION OF MICRO-LENS AND THE FORMATION METHOD OF THE SAME
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 지정근 | ko |
| dc.contributor.author | 권영세 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-11-21T03:01:25Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-21T03:01:25Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/300227 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 미세렌즈 배열 및 그의 형성방법에 관한 것이다. 본 발명의 미세렌즈 배열은 유리판의 일면에 원뿔형태를 지닌 복수개의 전면 미세렌즈가 구성된 전면 미세렌즈군 ; 및, 전기 유리판의 반대면에 전기한 전면 미세렌즈 각각의 중심점과 엇갈리는 중심점을 지니며 원뿔형태를 지닌 복수개의 이면 미세렌즈가 구성된 이면 미세렌즈군을 포함한다. 또한, 본 발명의 미세렌즈 배열 형성방법은 유리판의 전면에 SOG(spin-on-glass)막을 형성하여 SOG막의 상면에 포토레지스트를 입히고 포토레지스트의 표면에 마스크를 대고 빛을 조사하여 포토레지스트를 선택적으로 감광 및 현상시켜 전면 포토레지스트 패턴배열을 형성하는 단계 ; 전기한 전면 포토레지스트 패턴배열 형성단계와 동일한 방법을 사용하여 전기 유리판의 후면에 전면 포토레지스트 패턴배열의 패턴 중심점에 중항에 후면 포토레지스트 패턴의 중심점이 위치하도록 후면 포토레지스트 패턴배열을 형성하는 단계 ; 및, 전기한 단계에 의해 유리판의 양면에 포토레지스트 패턴배열이 형성된 유리판을 불산용액으로 식각하여 원뿔형태의 미세렌즈를 형성하는 단계를 포함한다. | - |
| dc.title | 미세렌즈배열및그의형성방법 | - |
| dc.title.alternative | DISPOSITION OF MICRO-LENS AND THE FORMATION METHOD OF THE SAME | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 권영세 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 지정근 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1995-0008345 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0149773-0000 | - |
| dc.date.application | 1995-04-11 | - |
| dc.date.registration | 1998-06-09 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- RIMS Patents
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.