실리콘단결정제조장치및그를이용한실리콘단결정의제조방법APPARATUS FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL AND PREPARATION PROCESS USING THE SAME
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 성형진 | ko |
| dc.contributor.author | 최정일 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-11-21T03:00:52Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-21T03:00:52Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/300218 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 실리콘 단결정 제조장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로 본 발명은 도가니 또는 시드의 회전속도를 가변시켜 고품질의 실리콘 단결정을 제조할 수 있는 실리콘 단결정 제조장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 실리콘 단결정 제조장치는 시드회전축(1), 시드(2), 도가니(4), 히터(5), 도가니 회전축(9), 챔버(11) 및 단열층(12)으로 구성되며 초크랄스키법에 의해 실리콘 단결정을 제조하는 제조장치에 있어서, 직류발생기(31), 함수발생기(32), 전압가산회로(33) 및 스태핑 모터(34)로 구성되며 전기한 도가니(4)의 회전속도를 시간에 따라 가변시키기 위한 도가니 회전속도 제어수단(21)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 실리콘 단결정 제조장치는 복잡한 부대장치나 다량의 에너지 소모없이도 간단한 구성에 의해 실리콘 단결정 제조시 용융액의 온도진동에 따라 발생하는 실리콘 단결정의 띠무늬 결함을 감소시킬수 있으며, 직경이 큰 웨이퍼도 경제적으로 제조할 수 있다. 또한, 전기한 실리콘 단결정 제조장치를 사용하는 본 발명의 제조방법에 의해 간단하고도 경제적으로 고품질의 실리콘 단결정을 제조할 수 있다. | - |
| dc.title | 실리콘단결정제조장치및그를이용한실리콘단결정의제조방법 | - |
| dc.title.alternative | APPARATUS FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL AND PREPARATION PROCESS USING THE SAME | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 성형진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최정일 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1995-0008960 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0149287-0000 | - |
| dc.date.application | 1995-04-17 | - |
| dc.date.registration | 1998-06-05 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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