3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자, 그 제조 방법 및 메모리 칩3-dimensional nonvolatile memory device, method of fabricating the same and memory chip

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dc.contributor.author이완규ko
dc.contributor.author김정우ko
dc.date.accessioned2022-11-21T01:00:43Z-
dc.date.available2022-11-21T01:00:43Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/300172-
dc.description.abstract3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자, 그 제조 방법 및 메모리 칩이 제공된다. 비휘발성 메모리 소자에 따르면, 적어도 하나의 낸드 스트링은 기판 상에 제된다. 상기 적어도 하나의 낸드 스트링은 상기 기판 상으로 상향 신장된 적어도 하나의 반도체 기둥 및 상기 적어도 하나의 반도체 기둥을 따라 직렬로 연결된 복수의 메모리셀들을 포함한다. 상기 적어도 하나의 반도체 기둥은 각 낸드 스트링 내에 적어도 하나의 측방향 확장부를 포함한다.-
dc.title3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자, 그 제조 방법 및 메모리 칩-
dc.title.alternative3-dimensional nonvolatile memory device, method of fabricating the same and memory chip-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.nonIdAuthor김정우-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2010-0088405-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1137770-0000-
dc.date.application2010-09-09-
dc.date.registration2012-04-12-
dc.publisher.countryKO-
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RIMS Patents
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