로봇암의 말단부

Abstract

본 발명은 반도체 제품인 대형 LCD패널을 적재할 때, 사용하는 로봇암의 말단부에 있어서, 말단부의 자체무게 및 LCD패널의 무게에 의해 처짐을 막고 대형 LCD패널의 이송이 용이하도록 탄성이 있는 로봇암의 말단부를 제공하는 데 그 목적이 있다.본 발명에 따르면, 중량이 큰 대형 반도체의 웨이퍼 또는 LCD의 밑면을 지지하여 카세트에 장입하거나, 카세트에 장입된 웨이퍼 또는 LCD의 밑면을 지지하여 인발하고 이송하는 로봇암의 말단부에 있어서, 상기 말단부의 중심에 위치하며 압축강도에 대한 탄성을 높일 수 있도록 상하면을 관통하는 다수 개의 관통공이 형성되며 길고 평행하며 동일평면상에 위치하는 다수 개의 심재부와, 상기 다수 개의 심재부를 수용하며 상기 로봇암에 고정되는 섬유강화복합재료인 면재부와, 상기 심재부가 외부로 노출되는 것을 방지하며 상기 면재부와 연결되어 고정되는 에지클로져를 포함하며, 상기 심재부와 상기 면재부에 의해 상하좌우에서 가해지는 압력을 지지하는 것을 특징으로 하는 로봇암의 말단부가 제공된다.말단부, 심재, 상부면재, 하부면재, 프리프레그, 카세트