회전축의반경방향회전오차측정방법

Abstract

본 발명은 유사한 피치를 갖는 두 개의 격자를 이용하여 회전축의 회전오차를 정확하게 측정할 수 있도록 개선한 회전축의 반경방향 회전오차측정방법에 관한 것으로, 기준구 또는 기준원통과 변위센서를 이용하는 종래의 측정방법은 기준의 형상오차가 회전오차가 함께 측정되고 기준구의 질량이 회전축의 질량에 더해지는 등 회전축의 동적 운동특성이 변하게 되어 정확한 회전오차를 측정할 수 없게 되고 기준과 센서의 거리가 가까워야 하므로 가공중에는 측정이 어렵게 되는 등의 문제가 있었던 바, 회전축의 끝단에 간격이 일정한 동심원들로 구성된 회전격자를 부착한 후 회전격자의 간격보다 조금 큰 등간격의 동심원으로 이루어지는 고정격자를 통해 회전격자를 관찰하여 두 격자 사이에 나타나는 간섭무늬의 변화를 이용하여 회전축의 회전정도를 측정하는 것을 특징으로 하는 본 발명에 의하면 격자자체의 오차가 적어 회전축의 회전정도를 정확하게 측정할 수 있게 될 뿐 아니라 광학계를 구성하기에 따라서는 가공중에 회전정도를 측정하는 것도 가능하게 된다.