액상결정성장에서선택적용액식각을이용한집적형태의광소자MELTBACK MICRO-LENS ARRAY FOR OPTICAL DEVICES
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 권영세 | ko |
| dc.contributor.author | 유태경 | ko |
| dc.contributor.author | 함성호 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-11-18T05:03:44Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-18T05:03:44Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/299997 | - |
| dc.description.abstract | 화합물 반도체 기판을 불포화된 Ⅲ족의 금속용액상태(melt)로 선택적용액식각하여 얻어진 원형식각면을 재결정성장으로 채워 형성시킨 렌즈면을 구비하는 것을 특징으로 하는 액상 결정성장에서 선택적 용액식각을 이용한 집적형태의 광소자 | - |
| dc.title | 액상결정성장에서선택적용액식각을이용한집적형태의광소자 | - |
| dc.title.alternative | MELTBACK MICRO-LENS ARRAY FOR OPTICAL DEVICES | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 권영세 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 유태경 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 함성호 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1990-0004980 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0059352-0000 | - |
| dc.date.application | 1990-04-11 | - |
| dc.date.registration | 1993-02-13 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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