유체 분배 장치 및 유체 분배 방법FLUID DISTRIBUTION APPARATUS AND FLUID DISTRIBUTION METHOD
본 발명은 유체 분배 장치를 제공한다. 이 유체 분배 장치는 제1 노즐들을 포함하는 제1 노즐판, 제1 노즐판의 일면 상에 배치되어 제1 노즐의 지름보다 작은 제2노즐들을 포함하는 제2 노즐판, 및 제1 노즐판 및 제2 노즐판 주위에 배치되어 버퍼 공간을 제공하고 유체가 공급되는 유체 공급 라인과 연결되는 가드부를 포함하되, 제1 노즐판의 제1 노즐과 상기 제2 노즐들은 서로 연결되도록 배치되고, 제2 노즐은 위치에 따라 적어도 둘 이상의 다른 직경을 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2011-07-05
- Application Number
- 10-2011-0066431
- Registration Date
- 2011-08-18
- Registration Number
- 10-1059078-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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