마이크로 볼로미터에서 필 팩터를 높이기 위한 픽셀 디자인DESIGN OF PIXEL FOR MORE HIGHER FILL FACTOR WHEREIN MICROBOLOMETER
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노종합기술원 | ko |
| dc.contributor.author | 김경민 | ko |
| dc.contributor.author | 김희연 | ko |
| dc.contributor.author | 김병일 | ko |
| dc.contributor.author | 경기명 | ko |
| dc.contributor.author | 박재홍 | ko |
| dc.contributor.author | 이귀로 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-11-08T07:00:28Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-08T07:00:28Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/299374 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 볼로미터에서 필 팩터를 높이기 위한 픽셀 디자인은, 기판 상부의 반사 금속층을 포함하는 하부층; 상기 하부층 상부의 공동; 상기 공동 상부의 볼로미터층과 그 위의 투과 금속층을 포함하는 상부층; 상기 하부층 및 상기 상부층의 절연을 위한 절연층; 및 상기 상부층을 지지하는 앵커를 포함하는 각 볼로미터 픽셀들의 배열로 이루어진 볼로미터 어레이에 있어서, 상기 볼로미터 픽셀 네 개가 상기 앵커 하나를 공유하는 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.title | 마이크로 볼로미터에서 필 팩터를 높이기 위한 픽셀 디자인 | - |
| dc.title.alternative | DESIGN OF PIXEL FOR MORE HIGHER FILL FACTOR WHEREIN MICROBOLOMETER | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김경민 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김희연 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김병일 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 경기명 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박재홍 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이귀로 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2011-0002456 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1180647-0000 | - |
| dc.date.application | 2011-01-10 | - |
| dc.date.registration | 2012-09-03 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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