쇼트키 배리어 다이오드 수동소자 및 그 제조 방법Schottky Barrier Diode passive device and methods of fabricating the same
본 발명은 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상에 형성되되 관통홀을 구비하는 절연막; 상기 관통홀을 충전하면서 상기 절연막 상에 형성된 쇼트키 금속 패턴; 및 상기 쇼트키 금속 패턴과 상기 반도체 기판 사이의 상기 절연막 중 일부를 제거하여 형성된 공간으로 구성된 에어 브릿지;를 포함하는, 쇼트키 배리어 다이오드 수동소자를 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-12-22
- Application Number
- 10-2020-0180837
- Registration Date
- 2022-08-24
- Registration Number
- 10-2437528-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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