일체형으로 제작된 유연 압전 음성센서Flexible Piezoelectric Acoustic Sensor Fabricated Integrally via Si Supporting Substrate
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이건재 | ko |
| dc.contributor.author | 정영훈 | ko |
| dc.contributor.author | 한재현 | ko |
| dc.contributor.author | 왕희승 | ko |
| dc.contributor.author | 정민기 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-08-17T13:00:27Z | - |
| dc.date.available | 2022-08-17T13:00:27Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/298003 | - |
| dc.description.abstract | 압전 물질층을 포함하는 음성센서로서, 상기 음성센서는 기판; 지지층; 금속층; 상기 금속층 상의 압전물질층 및 상기 압전물질층 상의 전극을 포함하며, 상기 기판은 상기 압전물질층, 전극 및 폴리머층을 포함하는 박막의 일부를 노출하는 방식으로 상기 음성센서의 소자층을 일체형으로 지지하는 것을 특징으로 하는 압전 물질층을 포함하는 음성센서가 제공된다. | - |
| dc.title | 일체형으로 제작된 유연 압전 음성센서 | - |
| dc.title.alternative | Flexible Piezoelectric Acoustic Sensor Fabricated Integrally via Si Supporting Substrate | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이건재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정영훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한재현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 왕희승 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정민기 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원,주식회사 프로닉스 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2020-0080524 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2431075-0000 | - |
| dc.date.application | 2020-06-30 | - |
| dc.date.registration | 2022-08-05 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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