구조물의 균열 검출 방법 및 검사 시스템

Abstract

본 발명의 실시예들에 따른 구조물의 균열 검출 방법에서, 제1 주기마다 반복되는 복수의 레이저 펄스들을 포함하는 고반복률 펄스 레이저 신호를 생성한다. 고반복률 펄스 레이저 신호를 타겟 구조물에 제공한다. 고반복률 펄스 레이저 신호에 의해 타겟 구조물로부터 생성되는 응답 신호를 수신한다. 응답 신호에 기초하여 타겟 구조물에 균열이 존재하는지 판단한다. 고반복률 펄스 레이저 신호에 포함되는 복수의 레이저 펄스들은 제1 진폭을 가지는 제1 레이저 펄스들 및 제1 진폭보다 큰 제2 진폭을 가지는 제2 레이저 펄스들을 포함한다. 제2 레이저 펄스들은 제1 주기보다 긴 제2 주기마다 반복되고, 제1 레이저 펄스들은 고반복률 펄스 레이저 신호 내에서 제2 레이저 펄스들이 배치되는 부분을 제외하고 제1 주기마다 반복된다.