고민감도 압력센서 및 이의 제조방법High sensitivity pressure sensor and its manufacturing method
다공성 피라미드 구조가 형성된 고분자 구조체를 기반으로 하며 정전용량식, 압저항식에 모두 적용 가능한 고민감도 압력센서 및 이의 제조방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-08-11
- Application Number
- 10-2020-0100776
- Registration Date
- 2022-07-15
- Registration Number
- 10-2423014-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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