블록 공중합체 템플릿을 이용한 단일 양자 입자 해상도를 갖는 양자 나노입자 배열 자기 조립 및 제작된 배열의 나노-전사 프린팅 방법Fabrication of self-assembled quantum dot array in single-quantum-particle resolution using block-copolymer as template and nanotransfer printing of the array
본 발명의 일 실시 예에 따른 양자 나노입자 배열 제작 및 나노-전사 프린팅 방법은 표면 요철 패턴이 있는 템플릿 기판 상에 양자 나노입자 배열을 제작하는 단계, 템플릿 상에 제작된 양자 나노입자 배열 상에 고분자 박막을 코팅하는 단계, 접착 필름으로 고분자 박막을 떼어냄으로써 양자 나노입자 배열과 템플릿을 분리하는 단계, 양자 나노입자 배열을 다양한 기판 상에 전사 하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2017-10-17
- Application Number
- 10-2017-0134548
- Registration Date
- 2022-03-18
- Registration Number
- 10-2377588-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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