저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR THREE-DIMENSIONAL OPTICAL TOMOGRAPHY USING PARTIALLY COHERENT LIGHT AND MULTIPLE ILLUMINATION PATTERN
저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법 및 장치가 제시된다. 일 실시예에 따른 3차원 광회절 단층촬영 장치를 이용한 저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법은, 복수 개의 패턴을 이용하여 시편에 광원을 입사하는 단계; 이미지 측정부에서 상기 시편의 다른 깊이(depth) 위치 상에서 다른 위치를 측정하도록 구성되어, 상기 시편의 2차원 영상을 측정하는 단계; 및 서로 다른 상기 패턴과 서로 다른 상기 깊이(depth) 위치에서 측정한 상기 2차원 영상을 바탕으로 상기 시편의 3차원 굴절률 정보를 복원하는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원, 주식회사 토모큐브
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-07-28
- Application Number
- 10-2020-0093713
- Registration Date
- 2022-01-20
- Registration Number
- 10-2355140-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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