저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR THREE-DIMENSIONAL OPTICAL TOMOGRAPHY USING PARTIALLY COHERENT LIGHT AND MULTIPLE ILLUMINATION PATTERN
저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법 및 장치가 제시된다. 일 실시예에 따른 3차원 광회절 단층촬영 장치를 이용한 저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법은, 복수 개의 패턴을 이용하여 시편에 광원을 입사하는 단계; 이미지 측정부에서 상기 시편의 다른 깊이(depth) 위치 상에서 다른 위치를 측정하도록 구성되어, 상기 시편의 2차원 영상을 측정하는 단계; 및 서로 다른 상기 패턴과 서로 다른 상기 깊이(depth) 위치에서 측정한 상기 2차원 영상을 바탕으로 상기 시편의 3차원 굴절률 정보를 복원하는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.