근접장 나노 패터닝 기술 기반 3차원 산화물 나노 구조체 제작 및 고경도 고유연 나노 복합체 응용 연구

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Publisher
한국광학회
Issue Date
2021-11-17
Language
Korean
Citation

2021년도 차세대 리소그래피 학술대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/290821
Appears in Collection
MS-Conference Papers(학술회의논문)
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