비정질 상을 이용한 호이슬러계 열전재료 제조방법 및 이를 이용한 소자

Abstract

본 발명은 비정질 상을 이용한 호이슬러계 열전재료 제조방법 및 이를 이용한 소자에 관한 것으로, 보다 자세하게는 비평형 재료공정을 통해 생성된 비정질 상(amorphous phase) 전구체(precursor)를 활용하고, 비정질 상의 결정화를 통하여 열전효과를 가지는 호이슬러계 상(Heusler based phase)을 포함하는 미세조직을 가지는 분체 및 벌크형 열전재료 또는 소자를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은 기존의 열전소재 제조 공정의 효율성을 저하시키는 긴 열처리 시간, 고온의 열처리 온도, 나노 분말화 중의 오염 발생으로 인해 scale-up 시 저하되는 생산성 문제를 획기적으로 저감하여 공정 효율성을 제고하였으며, 통상의 재료공정으로 형성이 곤란한 나노 미세구조 열전 재료와 그의 효율적인 제조 공정을 제공한다.