나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법 및 이에 의한 투명전극

Abstract

본 발명의 일 실시 예는 금속층이 형성된 기판 상에 나노섬유 패턴을 형성하고 이온밀링 후 나노섬유 패턴을 제거함으로써 투명전극을 제조하는 방법 및 이를 이용하여 제조된 투명전극을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법은, 투명한 소재로 형성되는 기판 상에 금속을 증착시켜 금속층이 형성되는 제1단계; 상기 금속층의 표면 상에 폴리머를 포함하는 전기방사용액을 전기방사하여 나노섬유의 패턴이 형성되는 제2단계; 상기 나노섬유의 패턴이 형성된 상기 금속층의 표면에 이온 빔을 조사하여 상기 금속층을 연마함으로써, 상기 나노섬유의 패턴을 따라 형성되고 상기 나노섬유의 표면 일부를 감싸는 형상으로 형성되는 표면금속층이 형성되는 제3단계; 및 상기 표면금속층과 결합된 상기 나노섬유를 제거하여, 상기 표면금속층으로 형성되는 패턴인 금속나노패턴을 형성하는 제4단계;를 포함한다.