수소 가스센서

Abstract

본 발명은 측정 용기로부터 대기 중에 누설된 미미한 수소 농도를 감지할 수 있는 수소 가스센서에 관한 것으로, 기판과 기판 상면에 형성된 센서부를 포함하고, 센서부는, 산소이온전도체와 수소이온전도체가 한 쌍을 이루는 이종접합 구조로 형성된 하나 이상의 고체전해질로 형성되고, 기판 상에 형성되며, 산소이온전도체 및 수소이온전도체와 각각 접하는 복수의 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 구조에 의하면, 기준물질이나 기준가스를 공급하지 않고도 대기 중의 낮은 수소가스 농도 변화를 감지할 수 있는 효과가 있다.