가변 필터와 광 검출기가 온-칩으로 결합된 초소형 바이오 센서 및 그의 제조 방법COMPACT BIOCHEMICAL ON-CHIP SENSOR BASED ON VARIABLE FILTER AND PHOTODETECTOR, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
다양한 실시예들은 가변 필터와 광 검출기가 온-칩으로 결합된 초소형 바이오 센서 및 그의 제조 방법을 제공할 수 있다. 다양한 실시예들에 따르면, 초소형 바이오 센서는, 광 검출기, 및 광 검출기 상에 결합되고, 인가되는 전압에 따라 다른 공진 주파수를 투과시키는 가변 필터를 포함하며, 가변 필터는, 복수 개의 금속 패드들, 및 금속 패드들의 사이에 형성되는 그래핀 공진 패턴을 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-05-18
- Application Number
- 10-2020-0058867
- Registration Date
- 2021-08-13
- Registration Number
- 10-2291699-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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