다기능성 3차원 나노구조체를 이용한 복합감지 센서 및 이의 제조방법

Abstract

본 발명은 전기적 및 광학적 멀티모달 센싱 능력을 가지는 다기능성 3차원 나노구조체를 이용한 고민감도 및 고선택성의 복합감지 센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 다기능성 물질을 포함하는 다층 구조의 나노와이어를 형성하는 단계, 타겟 기판 상에 제1 기능성 물질 및 제2 기능성 물질을 동시에 포함하는 다층 구조의 상기 나노와이어를 복수 층으로 전사하여 3차원 나노구조체를 제조하는 단계, 상기 3차원 나노구조체를 열처리하는 단계 및 상기 열처리된 3차원 나노구조체의 양측에 제1 전극 패턴 및 제2 전극 패턴의 전극층을 형성하여 복합감지 센서를 제조하는 단계를 포함하되, 상기 다층 구조의 나노와이어는 베이스 기판에 형성된 베이스 패턴 상에 상기 제2 기능성 물질, 상기 제1 기능성 물질 및 상기 제2 기능성 물질이 순차적으로 증착되어 형성된다.