미소입자 검출 장치 및 미소입자 검출 방법Sensor and sensing method thereby for particle size or number
미소입자 검출 장치는 미소 유로 및 검출부를 포함한다. 상기 미소 유로는 미소입자를 포함하는 유체의 흐름을 위한 공간을 제공하며, 상기 유체의 흐름 방향을 따라 변화하는 단면적을 갖는 가변 감지 구역을 구비한다. 상기 검출부는 상기 미소 유로에 배치되어 상기 가변 감지 구역에 전기장을 인가하고, 상기 미소입자가 상기 가변 감지 구역을 통과할 때 상기 미소입자의 크기를 나타내는 전기 신호를 측정한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2010-02-04
- Application Number
- 10-2010-0010601
- Registration Date
- 2012-04-09
- Registration Number
- 10-1136821-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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