미소입자 처리 장치는 유동 챔버 및 적어도 하나의 포획 구조물을 포함한다. 상기 유동 챔버는 제1 포트 및 제2 포트에 각각 연결되며, 상기 제1 및 제2 포트들 사이에 미소입자를 포함하는 유체의 흐름을 위한 공간을 제공한다. 상기 포획 구조물은 상기 유동 챔버 내에 구비되어 유체 채널을 형성하고, 상기 유체 채널은 제1 개구 및 제2 개구를 가지며, 상기 제1 개구와 상기 제2 개구 사이에 상기 제1 포트로부터 상기 제2 포트로 이동하는 상기 미소입자를 포획하기 위한 가변적 단면 형상들을 갖는 포획 영역이 형성된다.