수용성 고분자를 이용한 나노 패턴 전사 방법 및 나노 패턴 전사용 템플릿Nano pattern transfer method using water-soluble polymer and template for nano pattern transfer
본 발명은, 패턴을 가지는 템플릿 상에 나노 구조체를 형성하여 리시버 기판에 나노 패턴을 전사하는 방법으로서 템플릿이 수용성 고분자로 형성되는 나노 패턴 전사 방법 및, 리시버 기판에 나노 패턴 전사시 이용되는 템플릿으로서 템플릿이 수용성 고분자로 형성되는 나노 패턴 전사용 템플릿을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원,한국기계연구원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-04-03
- Application Number
- 10-2020-0040687
- Registration Date
- 2021-06-29
- Registration Number
- 10-2272906-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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