검사 장치 및 그 제어 방법EXAMINING APPARATUS AND EXAMINIG METHOD THEREOF
검사 장치는 피검체의 목표 지점 또는 목표 지점으로부터 미리 설정된 거리만큼 떨어진 계측 지점에 레이저를 조사하는 레이저 조사부, 목표 지점에 레이저가 조사된 경우, 계측 지점에서의 정방향 계측 데이터를 생성하고, 계측 지점에 레이저가 조사된 경우, 목표 지점에서의 역방향 계측 데이터를 생성하는 계측부, 및 정방향 계측 데이터와 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 피검체의 결함을 판단하는 신호 처리부를 포함한다.
- Assignee
- 삼성전자주식회사,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2015-03-31
- Application Number
- 10-2015-0045358
- Registration Date
- 2021-06-16
- Registration Number
- 10-2267862-0000
- Appears in Collection
- CE-Patent(특허)
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