전하 포획층을 가지는 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 이의 제조 방법CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER WITH CHARGE TRAPPING LAYER AND METHOD OF FABRICATING THEREOF
전하 포획층을 가지는 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 이의 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 초음파 트랜스듀서는, 기판과, 상기 기판 위에 형성된 산화막과, 상기 산화막의 일부가 식각된 영역에 형성되는 공극과, 상기 산화막의 상부에 적층되어 상기 공극을 덮는 멤브레인과, 상기 식각된 영역에 적층되는 전하 포획층을 포함하고, 상기 전하 포획층은, 일부는 상기 공극의 내부에 삽입되고 다른 일부는 상기 공극의 외부로 연장되는 전극층을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-08-06
- Application Number
- 10-2020-0098484
- Registration Date
- 2021-05-12
- Registration Number
- 10-2253210-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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