パターン構造物検査装置及び検査方法

Abstract

本発明の一態様によれば、波動源から基板上に一定のパターンを有する構造物が形成されたパターン領域を含むサンプルに波動を照射するステップと、情報収集部を用いて、該パターン領域での多重散乱によって形成されたスペックルについての情報を収集するステップと、該収集された情報を基準情報と比較して、該パターン領域に形成された構造物形態の異常有無を分析するステップと、を含むパターン構造物検査方法が提供される。