미세유체 시스템을 이용한 낮은 이력현상을 가지는 고민감도 압력센서 제조방법

Abstract

본 발명은 미세유체 시스템을 이용하여 마이셀 구조의 크기를 조절하는 것으로, 다공성 압력센서의 기공크기 조절이 가능할 뿐만 아니라 전도성 고분자를 표면에 합성하는 것으로 높은 내구성과 고민감도를 가질 수 있는 압력센서의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 (a) 비극성용매 및 선형고분자를 혼합하는 단계; (b) 하나의 채널에 상기 (a)단계의 혼합용액과 극성용매를 공급하여 마이셀 구조를 형성하는 단계; (c) 상기 채널에서 유출되는 마이셀 구조를 가열하여 선형고분자를 중합시키고, 용매를 증발시켜 다공성 구조를 수득하는 단계; 및 (d) 상기 (c) 단계에서 제조된 다공성 구조의 표면에 전도성 고분자를 증착하는 단계를 포함하는 낮은 이력현상을 가지는 고민감도 압력센서 제조방법을 제공한다.