박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법Method for fabricating flexible electronic device through physical separation using phase change of thin film
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이건재 | ko |
| dc.contributor.author | 김도현 | ko |
| dc.contributor.author | 이한얼 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-03-11T05:10:37Z | - |
| dc.date.available | 2021-03-11T05:10:37Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/281483 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명인 박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법은 모기판 상에 상변화물질 및 버퍼층을 순차적으로 증착하는 단계; 외력에 의해 상기 상변화물질 상으로 응력이 인가되고, 상기 상변화물질의 상이 변화되는 단계; 상기 버퍼층 상부에 무기물 기반의 고성능 전자소자를 제작하는 단계; 상기 전자소자에 캐리어 기판을 부착하여 물리적으로 소자를 박리하는 단계; 및 상기의 박리된 전자소자를 타겟 기판에 부착한 뒤, 상기 캐리어 기판을 제거하여 유연 전자소자를 제작하는 단계;를 포함한다. | - |
| dc.title | 박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법 | - |
| dc.title.alternative | Method for fabricating flexible electronic device through physical separation using phase change of thin film | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이건재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김도현 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0168498 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2224058-0000 | - |
| dc.date.application | 2018-12-24 | - |
| dc.date.registration | 2021-03-02 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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