패턴 구조물 검사 장치 및 검사 방법A pattern structure inspection system and inspection method using the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김영덕 | ko |
| dc.contributor.author | 박용근 | ko |
| dc.contributor.author | 박종찬 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-03-04T07:51:30Z | - |
| dc.date.available | 2021-03-04T07:51:30Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/281217 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 일 관점에 따르면, 파동원으로부터 기판 상에 일정한 패턴을 가지는 구조물이 형성된 패턴영역을 포함하는 샘플로 파동을 조사하는 단계; 정보수집부를 이용하여 상기 패턴영역에서의 다중 산란에 의해 형성된 스펙클(speckle)에 대한 정보를 수집하는 단계; 및 사이 수집된 정보를 기준 정보와 비교하여 상기 패턴영역에 형성된 구조물 형태의 이상 여부를 분석하는 단계;를 포함하는, 패턴 구조물 검사 방법이 제공된다. | - |
| dc.title | 패턴 구조물 검사 장치 및 검사 방법 | - |
| dc.title.alternative | A pattern structure inspection system and inspection method using the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 박용근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김영덕 | - |
| dc.contributor.assignee | 주식회사 더웨이브톡,한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0066365 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1971272-0000 | - |
| dc.date.application | 2017-05-29 | - |
| dc.date.registration | 2019-04-16 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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