팔라듐 기반 센서 제조 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SENSOR BASED ON PALLADIUM
본 발명의 일 실시예에 따른 팔라듐 기반 센서 제조 방법은, 전기방사를 이용하여 제1 기판 위에 다공성을 가지는 집합체를 형성하는 단계와, 상기 집합체에 소정 두께로 팔라듐을 증착하는 단계와, 상기 팔라듐이 증착된 상기 집합체를 제2 기판 상에 배치하는 단계와, 유기용매제를 이용하여 상기 제2 기판 상에 배치된 집합체를 녹임에 기초하여, 상기 집합체 형상의 공간을 포함하는 팔라듐 튜브를 형성하는 단계와, 상기 제2 기판 및 상기 팔라듐 튜브를 이용하여 팔라듐 기반 센서를 제조하는 단계를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-07-30
- Application Number
- 10-2019-0092686
- Registration Date
- 2021-02-25
- Registration Number
- 10-2223066-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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