레이저 패터닝을 이용한 금속나노와이어 기반 복합 전극의 제조 방법

Abstract

본 발명은 레이저 패터닝을 이용한 금속나노와이어 기반 복합 전극의 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 희생층 기판 위에 나노소재를 이용하여 나노미터 단위의 금속나노와이어 네트워크를 필름 형태로 형성하는 금속나노와이어 네트워크 형성 단계(이하, '제1단계'라 칭함), 상기 제1단계에 의하여 형성된 상기 금속나노와이어 네트워크 필름 층이 담지되도록 신축성 폴리머(PUA)를 도포하는 폴리머 도포 단계(이하, '제2단계'라 칭함), 상기 제2단계 후 자외선(UV) 레이저 기기를 이용한 소정의 패터닝 조사를 통해 상기 신축성 폴리머를 경화시겨 전극부를 형성하는 레이저 조사 단계(이하, '제3단계'라 칭함) 및 상기 제3단계에 의하여 형성된 전극부를 상기 희생층 기판으로부터 타겟 기판으로 이송시키는 전극부 이송 단계(이하, '제4단계'라 칭함)를 포함함으로써, 기계적 및 화학적 안정성을 향상시키는 이점을 제공한다.