열고립 특성이 향상된 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 구조 및 이를 포함하는 적외선 열화상 장치

Abstract

본 발명은 열고립 특성을 높이면서도 저항체를 쉽게 형성할 수 있는 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 구조에 관한 것으로, 비냉각형 적외선 센서를 구성하는 4각형의 픽셀의 구조에 있어서, 기판; 상기 기판 상에 설치된 2개의 지지기둥; 상기 지지기둥 각각에 일단이 연결된 2개의 연결레그; 상기 연결레그의 타단이 연결되어 상기 기판으로부터 공중으로 이격되어 위치하는 4각형 형상의 적외선 감지부; 및 상기 적외선 감지부의 표면에 형성되어 양단이 상기 적외선 감지부의 끝부분에 일치하는 저항체를 포함하여 구성되며, 2개의 지지기둥은 픽셀 내에서 서로 반대편 모서리에 위치하고, 상기 연결레그는 픽셀의 적어도 2개 변에 걸치도록 형성되어, 4각형 형상의 적외선 감지부의 4개 변에 연결레그가 소정의 간격으로 이격되어 위치하며, 상기 적외선 감지부에는, 상기 저항체의 양단 각각과 일치되는 위치에 4각형의 내측으로 요입된 노치가 형성되어, 상기 적외선 감지부와 상기 연결레그 사이의 간격이 상대적으로 멀어져서 저항체 형성을 위한 공간이 마련된 것을 특징으로 한다.