멀티스케일 기법을 사용해 민감도가 증대된 그래핀 메타표면 기반 분자 감지 센서 및 그 제조 방법GRAPHENE METASURFACE BASED MOLECULAR SENSOR WITH ENHANCED SENSITIVITY USING MULTISCALE TECHNIQUE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
기판, 기판 상에 형성된 슬릿, 기판 상에서 슬릿 내에 위치된 플라즈몬 공진기 패턴 및 기판의 하단에 형성된 반사층을 포함하는 분자 감지 센서가 제공된다. 플라즈몬 공진기 패턴은 적외선 광이 조사될 때 플라즈몬 공진을 발생시키고, 적외선 광이 조사될 때 측정된 플라즈몬 공진기 패턴의 광 흡수율에 기반하여 타겟 분자의 종류가 검출될 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-11-16
- Application Number
- 10-2018-0141411
- Registration Date
- 2020-09-25
- Registration Number
- 10-2162022-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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