멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법A MEMS Device And The Manufacturing Method of the MEMS Device
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 오재섭 | ko |
| dc.contributor.author | 이종권 | ko |
| dc.contributor.author | 박종철 | ko |
| dc.contributor.author | 김태현 | ko |
| dc.contributor.author | 홍대원 | ko |
| dc.contributor.author | 나노종합기술원 | ko |
| dc.date.accessioned | 2020-12-02T11:11:00Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-02T11:11:00Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/277968 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 일 실시에에 따른 멤스 소자는, 적외선 센서를 구비한 센서 기판; 및 상기 하부 기판과 접합되어 케비티를 구성하는 캡 기판을 포함한다. 상기 캡 기판은, 상부 기판; 상기 상부 기판의 상부면에 형성된 나방눈(Moth-eye) 구조의 상부 패턴; 상기 상부 패턴을 마주보도록 배치되고 상기 상부 기판의 하부면에서 함몰된 케비티 영역에 형성된 나방눈(Moth-eye) 구조의 하부 패턴; 상기 하부 패턴의 주위에 배치되고 상기 케비티 영역 내에 배치된 게터; 상기 상부 기판의 하부면에서 상기 케비티 영역보다 돌출되고 상기 상부 기판과 동일한 구조와 재질을 가지고 상기 케비티 영역을 감싸도록 배치된 격벽; 상기 상부 기판의 하부면에서 상기 케비티 영역의 배치평면보다 더 함몰되고 상기 격벽을 감싸도록 배치된 절단 부위; 및 상기 격벽의 하부면에 배치된 상부 본딩 패드;를 포함한다. | - |
| dc.title | 멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 | - |
| dc.title.alternative | A MEMS Device And The Manufacturing Method of the MEMS Device | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 오재섭 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이종권 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박종철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김태현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 홍대원 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0111990 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2089866-0000 | - |
| dc.date.application | 2018-09-19 | - |
| dc.date.registration | 2020-03-10 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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