대면적 그레인을 가지는 패턴, 및 이의 제조방법Pattern having a large grain, and method for preparing the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김상욱 | ko |
| dc.contributor.author | 이건재 | ko |
| dc.contributor.author | 진형민 | ko |
| dc.contributor.author | 박대용 | ko |
| dc.date.accessioned | 2020-08-18T00:55:52Z | - |
| dc.date.available | 2020-08-18T00:55:52Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/275848 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 기판 상에 도포된 블록공중합체를 FLA 방식의 램프로 광조사하여 자기조립 패턴을 형성하는 패턴 제조방법 및 이로부터 제조되는 대면적 패턴에 관한 것으로, 수 내지 수십 밀리초(㎳)의 매우 짧은 어닐링 시간에도 패턴이 효과적으로 형성될 뿐 아니라, 대면적으로 동일한 배향이 가능하여 대면적의 그레인을 가지는 패턴을 형성할 수 있다. | - |
| dc.title | 대면적 그레인을 가지는 패턴, 및 이의 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | Pattern having a large grain, and method for preparing the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김상욱 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이건재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 진형민 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박대용 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0148675 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2145404-0000 | - |
| dc.date.application | 2017-11-09 | - |
| dc.date.registration | 2020-08-11 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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